ပလပ်စတစ်ကာဗိတ်ဖုံးထားသည့်ကိရိယာကားအဘယ်နည်း။

ပလပ်စတစ်ဘားစက်ကင်ဆာပစ္စည်းကိရိယာများထို့အပြင်ဖုန်စုပ်စက်များသို့မဟုတ်ရုပ်ပိုင်းဆိုင်ရာအငှား (PVD) ပစ္စည်းကိရိယာများဟုလည်းလူသိများသည်။ ဤလုပ်ငန်းစဉ်သည်ပလပ်စတစ်ပစ္စည်းများကိုရောင်ပြန်ဟပ်သောရောင်ပြန်ဟပ်မှု, အတားအဆီးဂုဏ်သတ္တိများနှင့်သတ္တုအသွင်အပြင်များကဲ့သို့သောဂုဏ်သတ္တိများကိုရရှိရန်ခွင့်ပြုသည်။ ပုံမှန်အားဖြင့်ပစ္စည်းကိရိယာများပုံမှန်အားဖြင့်အောက်ပါအစိတ်အပိုင်းများပါဝင်သည်။

လေဟာနယ်အခန်းကြီး - ပစ္စည်းကိရိယာများ၏အဓိကအချက်မှာသတ္တုတူးစင်ခန်းဖြစ်ပြီးအပေါ်ယံပိုင်းဖြစ်စဉ်ကိုပြုလုပ်သည်။ အခန်းသည်လေလုံကြောင်းနှင့်လေနှင့်အခြားညစ်ညမ်းမှုများကိုဖယ်ရှားခြင်းဖြင့်ဖိအားနိမ့်ကျသောပတ် 0 န်းကျင်ကိုဖန်တီးရန်ဒီဇိုင်းပြုလုပ်ထားသည်။

အလွှာကိုင်တွယ်စနစ် - ဤစနစ်သည်အပေါ်ယံပိုင်းတွင်ပလပ်စတစ်အလွှာများအတွင်းရှိပလပ်စတစ်အလွှာများအတွင်းရှိပလပ်စတစ်အလွှာများအတွင်းရှိဒုတ်ခန်းများအတွင်းရှိဆွဲယူရန်တာဝန်ရှိသည်။ ၎င်းသည်အလွှာများ၏အစိတ်အပိုင်းများအားလုံးပင်နှင့်ယူနီဖောင်းအပေါ်ယံပိုင်းကိုရရှိစေရန်သေချာစေသည်။

အပူအချပ်ခွဲအရင်းအမြစ်ရင်းမြစ် - အပူဓာတ်ငွေ့ကိုအငွေ့ပျံသည်အထိသတ္တုဖုံးထားသည့်အကြောင်းအရာကိုအပူပေးရန်နှင့်ပါးလွှာသောအခိုးအငွေ့ဖြစ်လာသည်။ ပလပ်စတစ်ကာဗတ်မ်နှင့်ဖုံးအုပ်ရန်အတွက်အသုံးပြုသောအသုံးအများဆုံးသတ္တုသည်လူမီနီယမ်ဖြစ်သည်။

Power Supply - လျှပ်စစ်ဓာတ်အားဖြန့်ဖြူးခြင်းဟာအငွေ့ပြန်ခြင်းအရင်းအမြစ်ကိုအပူပေးဖို့လိုအပ်တဲ့လျှပ်စစ်ဓာတ်အားစွမ်းအင်ကိုထောက်ပံ့ပေးတယ်။ သတ္တုအလွှာ၏အစစ်ခံနှုန်းနှင့်အထူများကိုထိန်းချုပ်ရန်အလွန်အရေးကြီးသည်။

Vacuum Pumping System: Vacuum Pumping စနစ်သည်အခန်းထဲရှိလေဟာနယ်ကိုဖန်တီးရန်နှင့်ထိန်းသိမ်းရန်တာ 0 န်ရှိသည်။ ၎င်းသည်အပေါ်ယံပိုင်းအတွက်လိုအပ်သောဖိအားနိမ့်သောပတ်ဝန်းကျင်ကိုရရှိရန်လေနှင့်အခြားဓာတ်ငွေ့များကိုရွှေ့ပြောင်းစေနိုင်သည်။

ဓာတ်ငွေ့ထိန်းချုပ်ရေးစနစ် - ဤစနစ်သည်အပိုဓာတ်ပေါင်းဖို sputtering ion ion etching များကဲ့သို့သောအပိုဆောင်းဖြစ်စဉ်များကိုတိုးမြှင့်လိုပါကလေဟာနယ်ခန်းသို့ဓာတ်ငွေ့များသို့မိတ်ဆက်ပေးခြင်းကိုထိန်းညှိပေးသည်။

အအေးစနစ် - အလွှာကိုသတ္တုအခိုးအငွေ့နှင့်အတူ coated အဖြစ်အပူတက်နိုင်သည်။ အအေးမိခြင်းစနစ်သည်ပုံပျက်သောသို့မဟုတ်ပျက်စီးခြင်းကိုရှောင်ရှားရန်လိုအပ်သောအပူချိန်တွင်အလွှာကိုထိန်းသိမ်းရန်ကူညီသည်။

အထူစောင့်ကြည့်လေ့လာခြင်းနှင့်ထိန်းချုပ်ခြင်း - လိုချင်သောအထူအထူနှင့်ထိန်းချုပ်မှုအထူနှင့်ထိန်းချုပ်မှုကိရိယာများကိုရရှိရန်အတွက်အစစ်ခံနှုန်းကိုစဉ်ဆက်မပြတ်တိုင်းတာရန်အသုံးပြုသည်။

အပေြာင်းပလပ်စတစ်ဖုန်စုပ်စက်Process တွင်ပလပ်စတစ်အလွှာများကိုလေဟာနယ်ခန်းထဲ၌နေရာချထားခြင်း, တိကျသော application လိုအပ်ချက်များအပေါ် အခြေခံ. ကွဲပြားခြားနားသောဖုံးအုပ်ထားသောအထူနှင့်ဂုဏ်သတ္တိများကိုရရှိရန်လုပ်ငန်းစဉ်သည်ညှိနှိုင်းနိုင်သည်။ ကြက်သွန်နီပြီးနောက်ပလပ်စတစ်အလွှာများသည်လိုချင်သောသဘောင်္သရာကိုရုပ်မြင်သံကြားအသွင်အပြင်ကိုရယူပြီးပိုမိုကောင်းမွန်သောရောင်ပြန်ဟပ်မှုသို့မဟုတ်အတားအဆီးများဖြစ်သောအရည်အသွေးများကိုတိုးတက်စေနိုင်သည်။