Optical vacuum coating စက်အပေါ်ယံပိုင်းနည်းပညာ

မိုဘိုင်းလ်ဖုန်းကင်မရာများ၊ လက်ကိုင်ဖုန်းအိတ်များ၊ မိုဘိုင်းဖုန်းစခရင်များ၊ အရောင်စစ်ထုတ်မှုများ၊ မျက်ကပ်မှန်မှန်ဘီလူးစသည်တို့ကဲ့သို့သော လုပ်ငန်းနယ်ပယ်တွင် ကျယ်ကျယ်ပြန့်ပြန့်အသုံးပြုကြသည်။ တိကျသောစံနှုန်းသည် အလွန်မြင့်မားပြီး AR ကဲ့သို့သော အပေါ်ယံအမျိုးမျိုးကို ဖုံးအုပ်ထားနိုင်သည်။ ရောင်ပြန်ဟပ်မှုဆန့်ကျင်သည့်ရုပ်ရှင်များ၊ အလှဆင်အနုပညာပလတ်စတစ်ရုပ်ရှင်များ၊ မော်တာကြွေရုပ်ရှင်များ၊ ပိုမိုကောင်းမွန်သောရောင်ပြန်ရုပ်ရှင်များ၊ ITO လျှပ်ကူးပစ္စည်းနှင့်ဆန့်ကျင်ဖက်ဒြပ်စင်ရုပ်ရှင်များသည်စျေးကွက်တွင်ရောင်းချမှုရာခိုင်နှုန်းမြင့်မားသည်။

အလွှာများစွာကို ဖုံးအုပ်ရန် မည်သည့် optical vacuum coating machine ကို အသုံးပြုသနည်း။

optical vacuum coating machine သည် volatilize လုပ်ပြီး စုပုံလာသောအခါ၊ vacuum system ရှိ အရင်းအမြစ်ကုန်ကြမ်းများကို အပူပေးသည် သို့မဟုတ် ion beam သည် အနုတ် electron များ volatilize ဖြစ်စေရန်ဖြစ်သည်။ အငွေ့သည် optical မျက်နှာပြင်ပေါ်တွင် ရှိနေသည်ဟု သံသယရှိသည်။ volatilization ကာလတွင်၊ အပူ၏တိကျသောခြယ်လှယ်မှု၊ ဖုန်စုပ်စုပ်စက်၏လုပ်ဆောင်မှုဖိအား၊ တိကျသောအနေအထားနှင့်အလွှာ၏လည်ပတ်မှုတို့အရ၊ အထူးအထူရှိသောယူနီဖောင်း optical coating ကိုထုတ်လုပ်နိုင်သည်။ volatilization သည် နူးညံ့သိမ်မွေ့သော လက္ခဏာများ ရှိပြီး၊ ၎င်းသည် အပေါ်ယံလွှာကို ပိုပို၍ လျော့ရဲခြင်း သို့မဟုတ် စိမ့်ဝင်စေသည်။ ဤအလွှာသည် ရေကိုစုပ်ယူနိုင်စွမ်းရှိပြီး ဖလင်၏ ကျိုးကြောင်းဆီလျော်သောအလင်းယိုင်ညွှန်းကိန်းကို ပြောင်းလဲပေးကာ ဝိသေသလက္ခဏာများကို လျော့ပါးစေမည်ဖြစ်သည်။ အီလက်ထရွန်အလင်းတန်းကို wafer မျက်နှာပြင်သို့ ဦးတည်သည့်အချိန်အတွင်း အီလက်ထရွန်ရောင်ခြည်အကူအညီဖြင့် အပ်နှံမှုနည်းပညာဖြင့် မတည်ငြိမ်သောအလွှာများကို မြှင့်တင်နိုင်သည်။ ၎င်းသည် အရင်းအမြစ်ပစ္စည်း၏ နှိုင်းရအလင်းမျက်နှာပြင်အလွှာ၏ စုပ်ယူမှုကို ပိုမိုကောင်းမွန်စေပြီး အတွင်းပိုင်းဖိစီးမှုပမာဏများစွာကို ဖြစ်ပေါ်စေကာ အပေါ်ယံပိုင်း၏သိပ်သည်းဆနှင့် ပိုမိုကြာရှည်ခံမှုကို မြှင့်တင်ပေးသည်။

မြင့်မားသောစွမ်းအင်လျှပ်စစ်ဓာတ်အကွက်သည် optical vacuum coater ၏ electron beam magnetron sputtering (IBS) တွင် အီလက်ထရွန်ရောင်ခြည်ကို အရှိန်မြှင့်နိုင်သည်။ ဤချက်ချင်းအလျင်များသည် အပြုသဘောဆောင်သော အိုင်းယွန်းများတွင် သိသာထင်ရှားသော စက်စွမ်းအင်ကို လှုံ့ဆော်ပေးသည်။ အရင်းအမြစ်ပစ္စည်းနှင့် တိုက်မိသောအခါ၊ အီလက်ထရွန်အလင်းတန်းသည် ပစ်မှတ်ပစ္စည်း၏ မော်လီကျူးများကို "magnetron sputters" စေသည်။ magnetron sputtered ပစ်မှတ်အပြုသဘောဆောင်သောအိုင်းယွန်းများ (မော်လီကျူးများကို hydrolysis ဇုန်မှအပြုသဘောဆောင်သောအိုင်းယွန်းအဖြစ်သို့ပြောင်းလဲသည်) သည်စက်ပိုင်းဆိုင်ရာစွမ်းအင်လည်းပါ ၀ င်သောကြောင့် optical မျက်နှာပြင်နှင့်ထိတွေ့သောအခါတင်းကျပ်သောဖလင်ကိုဖြစ်ပေါ်စေသည်။ IBS သည် တိကျပြီး ထပ်တလဲလဲလုပ်နိုင်သော နည်းပညာတစ်ခုဖြစ်သည်။

Optical vacuum coater Plasma magnetron sputtering သည် high-end plasma magnetron sputtering နှင့် magnetron sputtering ကဲ့သို့သော နည်းပညာများစွာအတွက် ယေဘုယျအသုံးအနှုန်းဖြစ်သည်။ ဘယ်လိုနည်းပညာမျိုးပဲဖြစ်ဖြစ် ပလာစမာဖန်တီးမှုလည်း ပါဝင်ပါတယ်။ ပလာစမာရှိ အပြုသဘောဆောင်သော အိုင်းယွန်းများသည် အရင်းအမြစ်ပစ္စည်းထဲသို့ အရှိန်မြှင့်သွားပြီး၊ အားပျော့သော စွမ်းအင်ရှိသော အပြုသဘောဆောင်သော အိုင်းယွန်းများနှင့် တိုက်မိကာ၊ ထို့နောက်တွင် မက်ဂနီထရွန် sputter သည် အလုံးစုံပစ်မှတ် optical အစိတ်အပိုင်းပေါ်သို့ ရောက်ရှိသည်။ ပလာစမာ magnetron sputtering အမျိုးအစားအမျိုးမျိုးတွင် ၎င်းတို့၏ထူးခြားသောဝိသေသလက္ခဏာများ၊ အားသာချက်များနှင့် အားနည်းချက်များ ရှိသော်လည်း ၎င်းတို့တွင် တူညီသောမူအရ၊ ၎င်းတို့အကြား ခြားနားချက်ရှိသောကြောင့် ဤနည်းပညာကို စက္ကူအပေါ်ယံပိုင်းနည်းပညာနှင့် နှိုင်းယှဉ်ကာ အခြား coating နည်းပညာများကို အတူတကွ ပေါင်းစပ်နိုင်ပါသည်။ တစ်ယောက်နဲ့တစ်ယောက် မတူတာတော့ နည်းပါတယ်။

volatilization deposition နှင့် မတူဘဲ၊ molecular layer deposition (ALD) အတွက် အသုံးပြုသည့် အရင်းအမြစ် ပစ္စည်းသည် အရည်မှ volatilize မဖြစ်ဘဲ အခိုးအငွေ့ ပုံစံဖြင့် ချက်ချင်း တည်ရှိပါသည်။ လုပ်ငန်းစဉ်သည် အခိုးအငွေ့ကို အသုံးပြုသော်လည်း လေဟာနယ်စနစ်တွင် မြင့်မားသော ပတ်ဝန်းကျင်အပူချိန်များ လိုအပ်နေသေးသည်။ ALD ၏လုပ်ငန်းစဉ်တစ်ခုလုံးတွင်၊ ဓာတ်ငွေ့ chromatography ရှေ့ပြေးနိမိတ်ကို ကြားဖြတ်မဟုတ်သော သွေးခုန်နှုန်းတစ်ခုတည်းအရ ပေးပို့ပြီး တစ်ခုတည်းသောသွေးခုန်နှုန်းကို ကိုယ်တိုင်ကန့်သတ်ထားသည်။ ဤလုပ်ဆောင်မှုအမျိုးအစားတွင် ထူးခြားသောဓာတုဒီဇိုင်းအစီအစဥ်ရှိပြီး၊ သွေးခုန်နှုန်းတစ်ခုစီသည် အလွှာတစ်ခုစီတွင်သာ လိုက်နာကြပြီး optical မျက်နှာပြင်အလွှာ၏ ဂျီသြမေတြီအတွက် အထူးလိုအပ်ချက်မရှိပါ။ ထို့ကြောင့်၊ ဤလုပ်ဆောင်မှုအမျိုးအစားသည် ကျွန်ုပ်တို့အား အပေါ်ယံအထူနှင့် ဒီဇိုင်းကို အတိုင်းအတာတစ်ခုအထိ ထိန်းချုပ်နိုင်စေသော်လည်း စုဆောင်းမှုအရှိန်ကို လျှော့ချပေးမည်ဖြစ်သည်။